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半导体等电子工业

返回列表 来源: 发布日期:2019-05-21

半导体等电子工业监测站解决方案

背景概述

半导体/电子工业是我国重点扶持和发展的领域,在生态环境保护方面,半导体/电子工业制造厂也在加大投入污染治理和污染物在线监控,以降低对生态环境和居民的影响。然而,半导体/电子工业制造厂的废气/烟气排放烟囱很多,有酸性排口,碱性排口(NH3)和VOCs排口,每个Fab厂都有十到几十个烟囱排口,而且酸性气体多(HCl、HF、Cl2、H2SO4等)和VOCs种类多(非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等),要对每个烟囱排口进行在线监测,就需要综合考虑国际上先进的监测技术和建设经济效益,选择最优的解决方案。

行业类型:半导体等电子工业

主要监测因子:NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等


解决方案概述:博测环境提供的整体解决方案是采用非接触式差分吸收光谱法(DOAS),使用一条光路贯穿整个管道。光束通过光纤传输到分析仪,而这个分析仪又同时监测几个路径。满足同时监测全部排口,多种因子,包括了酸性气体、碱性气体和VOCs气体。该方案采用了先进的光谱法(UV/IR)监测酸碱气体和气相色谱法(GC-FID)监测VOCs气体。如下图:


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