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半导体IC/晶圆制造厂烟气排放在线监测

【关键点】:ppm级,同时多测点监测, SO2、NOx、HCl、HF、Cl2、NH3等,以及VOCs气体。

【产品简介】:BO-SYS400IC满足同时监测全部排口,多种因子,包括了酸性气体、碱性气体和VOCs气体。该系统采用了先进的光谱法(UV/IR)监测酸碱气体和气相色谱法(GC-FID)监测VOCs气体。 

【应用领域】:半导体IC集成电路制造厂、晶圆制造厂。

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产品详情

一、产品介绍

半导体集成电路(IC)/晶圆制造是我国重点扶持和发展的领域,在生态环境保护方面,IC/晶 圆制造厂也在加大投入污染治理和污染物在线监控,以降低对生态环境和居民的影响

烟气排放在线监测 

二、半导体IC/晶圆制造厂烟气排放在线监测技术特点

然而,IC/晶圆制造厂的废气/烟气排放烟囱很多,有酸性排口,碱性排口(NH3)和VOCs排 口,每个Fab厂都有十到几十个烟囱排口,而且酸性气体多(HCl、HF、Cl2、H2SO4等)和VOCs种类多(非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等),要对每个烟囱排口进行在线监测,就需要综合考虑国际上先进的监测技术和建设经济效益,选择最优的解决方案。

三、BO-SYS400IC解决方案 

BO-SYS400IC是我司针对上述难点所提供的整体解决方案,满足同时监测全部排口,多种因子,包括了酸性气体、碱性气体和VOCs气体。该方案采用了先进的光谱法(UV/IR)监测酸碱气体和气相色谱法(GC-FID)监测VOCs气体。 

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