半导体IC／晶圆制造厂烟气排放在线监测

博测环境污染源烟气排放在线监测，烟气排放在线监测系统，提供针对性整体解决方案，先进的光谱法（UV/IR）监测酸碱气体和气相色谱法（GC-FID）监测VOCs气体，满足监测考核要求。

产品简介 / Introduction

一、产品介绍

半导体集成电路（IC）/晶圆制造是我国重点扶持和发展的领域，在生态环境保护方面，IC/晶圆制造厂也在加大投入污染治理和污染物在线监控，以降低对生态环境和居民的影响。

烟气排放在线监测

二、半导体IC／晶圆制造厂烟气排放在线监测技术特点

然而，IC/晶圆制造厂的废气/烟气排放烟囱很多，有酸性排口，碱性排口（NH3）和VOCs排口，每个Fab厂都有十到几十个烟囱排口，而且酸性气体多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs种类多（非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要对每个烟囱排口进行在线监测，就需要综合考虑国际上先进的监测技术和建设经济效益，选择最优的解决方案。

三、BO-SYS400IC解决方案

BO-SYS400IC是我司针对上述难点所提供的整体解决方案，满足同时监测全部排口，多种因子，包括了酸性气体、碱性气体和VOCs气体。该方案采用了先进的光谱法（UV/IR）监测酸碱气体和气相色谱法（GC-FID）监测VOCs气体。